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    电容式压力传感器是一种利用电容作为敏感元件,将被测压力转换成电容值改变的压力传感器,这种压力传感器一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。


    振弦式压力传感器属于频率敏感型传感器,这种频率测量具有相当高的准确度,因为时间和频率是能准确测量的物理量参数,而且频率信号在传输过程中可以忽略电缆的电阻、电感、电容等因素的影响,同时振弦式压力传感器还具有较强的抗干扰能力,零点漂移小、温度特性好、结构简单、分辨率高、性能稳定,便于数据传输、处理和存储。


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    随着MEMS技术的发展,桥式测拉压力传感器,半导体传感器向着微型化发展,而且其功耗小、可靠性高,压力传感器是工业实践中常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。


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    压阻压力传感器主要基于压阻效应,压阻效应是用来描述材料在受到机械式应力下所产生的电阻变化,不同于压电效应,压阻效应只产生阻抗变化,并不会产生电荷,大多数金属材料与半导体材料都被发现具有压阻效应,其中半导体材料中的压阻效应远大于金属。


    压阻压力传感器一般通过引线接入惠斯登电桥中,平时敏感芯体没有外加压力作用,电桥处于平衡状态,当传感器受压后芯片电阻发生变化,电桥将失去平衡,若给电桥加一个恒定电流或电压电源,电桥将输出与压力对应的电压信号,这样传感器的电阻变化通过电桥转换成压力信号输出。


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